AUTOMATIC TOPOGRAPHIC EXAMINATION OF SEMICONDUCTORS USING MODULATED REFLECTANCE

被引:9
作者
AUBEL, JL
PIDICK, G
REDDY, UK
SUNDARAM, S
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1138342
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
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页数:5
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