SCHOTTKY-BARRIER HEIGHTS OF NICKEL-PLATINUM SILICIDE CONTACTS ON NORMAL-TYPE SI

被引:12
作者
TERRY, LE [1 ]
SALTICH, J [1 ]
机构
[1] MOTOROLA SEMICONDUCTOR PROD DIV,5005 E MCDOWELL RD,PHOENIX,AZ 85008
关键词
D O I
10.1063/1.88708
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:229 / 231
页数:3
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