MONTE-CARLO SIMULATION OF THIN-FILM DEPOSITION IN A RECTANGULAR GROOVE

被引：52

作者：

COOKE, MJ ^{[1
]}

HARRIS, G ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV COLL SWANSEA,DEPT ELECT & ELECTR ENGN,SWANSEA SA2 8PP,W GLAM,WALES

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1989年 / 7卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.576339

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：3217 / 3221

页数：5

共 6 条

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