THE EFFECT OF GATE METAL AND SIO2 THICKNESS ON THE GENERATION OF DONOR STATES AT THE SI-SIO2 INTERFACE

被引:106
作者
FISCHETTI, MV
WEINBERG, ZA
CALISE, JA
机构
关键词
D O I
10.1063/1.334767
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
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页数:8
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