A HIGH-PERFORMANCE, VARIABLE CAPACITANCE ACCELEROMETER

被引：11

作者：

WILNER, LB

机构：

[1] Allied Signal Aerospace Co, San Juan, Capistrano, CA, USA

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/19.9815

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：569 / 571

页数：3

共 7 条

BROOKS, AD ;

HARDESTY, CA ;

DONOVAN, RP .

LEE, YS ;

WISE, KD .

RUDOLF, F .

SENSORS AND ACTUATORS, 1983, 4 (02) :191-198

[4]

SADD M, DESIGN ENG TECHNICAL

[5]

Seidel H., 1983, Sensors and Actuators, V4, P455, DOI 10.1016/0250-6874(83)85057-4

[6]

SUMINTO J, 1986, 1986 INT S MICR, P176

[7] FIELD ASSISTED GLASS-METAL SEALING [J].

WALLIS, G ;

POMERANT.DI .