AUGER-ELECTRON SPECTROSCOPY AT HIGH SPATIAL-RESOLUTION AND NA PRIMARY BEAM CURRENTS

被引:25
作者
TODD, G
POPPA, H
MOORHEAD, D
BALES, M
机构
[1] NASA,AMES RES CTR,MOFFETT FIELD,CA 94035
[2] UNIV CALIF,ELECT ENGN DEPT,BERKELEY,CA 94720
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1975年 / 12卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.568708
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:953 / 955
页数:3
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