EFFECT OF POLYSILICON-EMITTER SHAPE ON DOPANT DIFFUSION IN POLYSILICON-EMITTER TRANSISTORS

被引:6
作者
KAMINS, TI
机构
关键词
D O I
10.1109/55.34723
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:401 / 404
页数:4
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共 4 条
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