THE CURRENT-VOLTAGE CHARACTERISTIC OF MAGNETRON SPUTTERING SYSTEMS

被引：66

作者：

WESTWOOD, WD ^{[1
]}

MANIV, S ^{[1
]}

SCANLON, PJ ^{[1
]}

机构：

[1] QUEENS UNIV,DEPT PHYS,KINGSTON K7L 3N6,ONTARIO,CANADA

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.332006

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：6841 / 6846

页数：6

共 20 条

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