RF-SPUTTERED INDIUM TIN OXIDE-FILMS ON WATER-COOLED SUBSTRATES

被引：28

作者：

MANSINGH, A

KUMAR, CVRV

机构：

[1] Univ of Delhi, India

来源：

THIN SOLID FILMS | 1988年 / 167卷 / 1-2期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(88)90511-1

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

3

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页码：L11 / L13

页数：3

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共 2 条

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