PROPERTIES OF SN-DOPED IN2O3 BY REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING AND SUBSEQUENT ANNEALING

被引:35
作者
YAMAMOTO, S
YAMANAKA, T
UEDA, Z
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1987年 / 5卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.574889
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
收藏
页码:1952 / 1955
页数:4
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