AMORPHOUS THIN-FILM DIFFUSION-BARRIERS ON GAAS AND INP

被引：15

作者：

ANDERSON, WT

CHRISTOU, A

DAVEY, JE

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(83)90548-5

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：57 / 67

页数：11

共 17 条

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