THE CRYSTALLINE TO AMORPHOUS TRANSFORMATION IN SILICON

被引:33
作者
WASHBURN, J
MURTY, CS
SADANA, D
BYRNE, P
GRONSKY, R
CHEUNG, N
KILAAS, R
机构
[1] UNIV CALIF BERKELEY,DEPT MAT SCI & MINERAL ENGN,BERKELEY,CA 94720
[2] UNIV CALIF BERKELEY,DEPT ELECT ENGN & COMP SCI,BERKELEY,CA 94720
来源
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH | 1983年 / 209卷 / MAY期
关键词
D O I
10.1016/0167-5087(83)90821-9
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
10
引用
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页码:345 / 350
页数:6
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