A MOCVD REACTOR SAFETY SYSTEM FOR A PRODUCTION ENVIRONMENT

被引：9

作者：

JOHNSON, E

TSUI, R

CONVEY, D

MELLEN, N

CURLESS, J

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-0248(84)90456-1

中图分类号：

O7 [晶体学];

学科分类号：

0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;

摘要：

引用

页码：497 / 501

页数：5

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共 4 条

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