PREPARATION OF SIO2 OVERLAYERS ON OXIDE SUBSTRATES BY CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION OF SI(OC2H5)4

被引:46
作者
OKUHARA, T [1 ]
WHITE, JM [1 ]
机构
[1] UNIV TEXAS,DEPT CHEM,AUSTIN,TX 78712
关键词
D O I
10.1016/0169-4332(87)90005-5
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
摘要
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页码:223 / 241
页数:19
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