EFFICIENT PHOSPHORUS DOPING OF AMORPHOUS-SILICON CARBIDE FILMS

被引：1

作者：

BAPAT, DR ^{[1
]}

NARASIMHAN, KL ^{[1
]}

KUMAR, S ^{[1
]}

SARDESAI, A ^{[1
]}

KSHIRSAGAR, ST ^{[1
]}

机构：

[1] NATL CHEM LAB,POONA 411008,MAHARASHTRA,INDIA

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.102223

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1639 / 1640

页数：2

共 5 条

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