FORMATION OF COMPLEXES OF TYPE X++.R IN RF RARE-GAS GLOW DISCHARGES

被引：13

作者：

COBURN, JW ^{[1
]}

KAY, E ^{[1
]}

机构：

[1] IBM RES LAB,SAN JOSE,CA 95193

来源：

JOURNAL OF CHEMICAL PHYSICS | 1976年 / 64卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1063/1.432204

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

引用

收藏

页码：907 / 908

页数：2

相关论文

共 5 条

[1] PLASMA DIAGNOSTICS OF AN RF-SPUTTERING GLOW DISCHARGE
COBURN, JW
KAY, E
[J]. APPLIED PHYSICS LETTERS, 1971, 18 (10) : 435 - &
[2] GLOW-DISCHARGE MASS-SPECTROMETRY - TECHNIQUE FOR DETERMINING ELEMENTAL COMPOSITION PROFILES IN SOLIDS
COBURN, JW
TAGLAUER, E
KAY, E
[J]. JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1974, 45 (04) : 1779 - 1786
[3] DIAGNOSTICS OF AN RF SPUTTERING GLOW DISCHARGE, CORRELATION BETWEEN ATOMIC-ABSORPTION AND MASS-SPECTROMETRY
ECKSTEIN, EW
COBURN, JW
KAY, E
[J]. INTERNATIONAL JOURNAL OF MASS SPECTROMETRY AND ION PROCESSES, 1975, 17 (02): : 129 - 138
[4] FONTIJN A, 1971, PROGR REACT KINETICS, V6, P75
[5] LAMPE FW, 1972, ION MOL REACTIONS, P601