SIMS MICRO-ANALYSIS WITH A GALLIUM ION MICROPROBE

被引:29
作者
BAYLY, AR
WAUGH, AR
ANDERSON, K
机构
来源
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH | 1983年 / 218卷 / 1-3期
关键词
D O I
10.1016/0167-5087(83)91009-8
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
引用
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页码:375 / 382
页数:8
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