INTERFEROMETRIC ELECTROPOLISHER FOR CONTROLLED SURFACE REMOVAL

被引:5
作者
SPRAGUE, JA [1 ]
机构
[1] USN,RES LAB,WASHINGTON,DC 20375
关键词
D O I
10.1063/1.1134430
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
引用
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页数:3
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