HIGH-CAPACITY SPUTTERING APPARATUS FOR HYBRID MICROWAVE INTEGRATED-CIRCUITS PRODUCTION

被引：2

作者：

FERRARIS, GP ^{[1
]}

机构：

[1] GEIPIPARI TUDONAYOS EGYESULET,ADV TECHNOL DIV CASSINA DE PECCHI,MILAN,ITALY

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(74)90256-9

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：113 / 124

页数：12

共 11 条

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