SI-28 IMPLANTATION INTO AR-40 IMPLANT-PRETREATED SEMI-INSULATING GAAS SUBSTRATES - MOBILITY AND ACTIVATION EFFICIENCY ENHANCEMENT

被引：9

作者：

LIU, SG

NARAYAN, SY

MAGEE, CW

WU, CP

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.93293

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：72 / 75

页数：4

共 6 条

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