NEW DIAMOND-LIKE CARBON-FILM DEPOSITION PROCESS USING PLASMA ASSISTED CHEMICAL VAPOR TRANSPORT

被引:16
作者
ZAROWIN, CB
VENKATARAMANAN, N
POOLE, RR
机构
关键词
D O I
10.1063/1.96712
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
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页数:3
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