ION-BEAM SPUTTER-DEPOSITED DIAMOND-LIKE FILMS

被引:57
作者
BANKS, BA
RUTLEDGE, SK
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1982年 / 21卷 / 03期
关键词
D O I
10.1116/1.571828
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:807 / 814
页数:8
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