REFLECTION ELECTRON-MICROSCOPE STUDY OF THE INITIAL-STAGES OF OXIDATION OF SI(111)-7 X 7 SURFACES

被引:51
作者
SHIMIZU, N
TANISHIRO, Y
KOBAYASHI, K
TAKAYANAGI, K
YAGI, K
机构
关键词
D O I
10.1016/0304-3991(85)90165-2
中图分类号
TH742 [显微镜];
学科分类号
摘要
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页码:453 / 461
页数:9
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