SUBMICROMETER SELF-ALIGNED DUAL-GATE GAAS FET

被引:13
作者
DEAN, RH [1 ]
MATARESE, RJ [1 ]
机构
[1] RCA LABS,PRINCETON,NJ 08500
关键词
D O I
10.1109/T-ED.1975.18140
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:358 / 360
页数:3
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