EROSION PROFILE OF A RADIOFREQUENCY PLANAR MAGNETRON SPUTTERING TARGET WITH APERTURE SHIELD

被引：2

作者：

HOLDEMAN, LB

MORELL, N

机构：

[1] COMSAT Lab, Clarksburg, MD, USA, COMSAT Lab, Clarksburg, MD, USA

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1986年 / 4卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.573485

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：137 / 138

页数：2