RECONSTRUCTION OF TRUE TOPOGRAPHIES OF SOLID-SURFACES IN SCANNING ELECTRON-MICROSCOPES USING SECONDARY ELECTRONS

被引：11

作者：

KHOLODILOV, OV

GRIGORYEV, AY

MYSHKIN, NK

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1002/sca.4950090404

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：156 / 161

页数：6

共 11 条

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