HIGH-TEMPERATURE DEPLETION-MODE METAL-OXIDE-SEMICONDUCTOR FIELD-EFFECT TRANSISTORS IN BETA-SIC THIN-FILMS

被引:98
作者
PALMOUR, JW
KONG, HS
DAVIS, RF
机构
关键词
D O I
10.1063/1.98282
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:2028 / 2030
页数:3
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