NEW TECHNIQUES FOR MODELING FOCUSED ION-BEAMS

被引：13

作者：

NARUM, DH

PEASE, RFW

机构：

[1] Stanford Univ, Stanford, CA, USA, Stanford Univ, Stanford, CA, USA

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1986年 / 4卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.583368

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：154 / 158

页数：5

共 8 条

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