OFFSET MASKS FOR LIFT-OFF PHOTOPROCESSING

被引：581

作者：

DOLAN, GJ ^{[1
]}

机构：

[1] BELL TEL LABS INC,MURRAY HILL,NJ 07974

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.89690

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：337 / 339

页数：3

共 6 条

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