LASER ENHANCED ETCHING IN KOH

被引：63

作者：

VONGUTFELD, RJ

HODGSON, RT

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.93069

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：352 / 354

页数：3

共 8 条

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