THE EFFECT OF HEAVY-ION BOMBARDMENT ON THE PROPERTIES OF HARD A-C-H(I-C) FILMS

被引:42
作者
ZOU, JW
SCHMIDT, K
REICHELT, K
STRITZKER, B
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A | 1988年 / 6卷 / 06期
关键词
D O I
10.1116/1.575481
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
收藏
页码:3103 / 3104
页数:2
相关论文
共 8 条