SIMS ANALYSIS OF ALXGA1-XAS GAAS LAYERED STRUCTURES GROWN BY METAL ORGANIC VAPOR-PHASE EPITAXY

被引:21
作者
BOUDEWIJN, PR
LEYS, MR
ROOZEBOOM, F
机构
关键词
D O I
10.1002/sia.740090507
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
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页数:6
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