HYDROGEN AND HELIUM IMPLANTATION IN VITREOUS SILICA

被引:40
作者
MATTERN, PL [1 ]
THOMAS, GJ [1 ]
BAUER, W [1 ]
机构
[1] SANDIA LABS,LIVERMORE,CA 94550
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1976年 / 13卷 / 01期
关键词
D O I
10.1116/1.568938
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:430 / 436
页数:7
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