CONDITIONS FOR GENERATION OF SLIP BY DIFFUSION OF PHOSPHORUS INTO SILICON

被引：37

作者：

CZAJA, W

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1708878

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：3441 / &

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共 25 条

TANNENBAUM, E .

[22]

THOMAS G, 1963, ELECTRON MICROSCO ED

[23]

TIMOSHENKO S, 1964, THEORY ELASTICITY, P203

[24]

TRUMBORE FA, 1964, MICRO THINFILM ELECT

[25] DIFFUSION-INDUCED DISLOCATIONS IN SILICON [J].

WASHBURN, J ;

THOMAS, G .