CODEPOSITED SILICIDES IN VERY-LARGE-SCALE INTEGRATION

被引：11

作者：

MURARKA, SP

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(86)90157-4

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：35 / 50

页数：16

共 49 条

[1]

AKIMOTO K, 1981, APPL PHYS LETT, V39, P445

[2]

BEAN JC, 1980, APPL PHYS LETT, V37, P203

[3]

BEESON KW, 1985, 3 REFR MET SIL VLSI

[4]

BLOKHA VB, 1982, IZV AKAD NAUK SSSR N, V18, P805

Chu, Wileen ;

Bhandia, Aloke S. ;

Stimmell, James B. .

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 1984, 2 (04) :707-709

[6]

DHEURLE FM, 1980, J APPL PHYS, V51, P5976, DOI 10.1063/1.327517

[7]

FAIR J, 1983, 1983 TECHN PROGR P S, P6

[8]

FRASER DB, 1984, COMMUNICATION

[9]

FRASER DB, 1982, Patent No. 4337476

GANT, H ;

BOETTICHER, H ;

DEPPE, HR .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 1985, 3 (06) :1668-1675