ION-BEAM TEXTURING

被引：59

作者：

HUDSON, WR ^{[1
]}

机构：

[1] NASA,LEWIS RES CTR,CLEVELAND,OH 44135

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1977年 / 14卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.569142

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：286 / 289

页数：4

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