PHOSPHORUS-DOPED POLYCRYSTALLINE SILICON VIA LPCVD .2. SURFACE INTERACTIONS OF THE SILANE PHOSPHINE SILICON SYSTEM

被引:101
作者
MEYERSON, BS
YU, ML
机构
关键词
D O I
10.1149/1.2115259
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
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页码:2366 / 2368
页数:3
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