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PHOSPHORUS-DOPED POLYCRYSTALLINE SILICON VIA LPCVD .2. SURFACE INTERACTIONS OF THE SILANE PHOSPHINE SILICON SYSTEM
被引:101
作者
:
MEYERSON, BS
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0
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0
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0
MEYERSON, BS
YU, ML
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YU, ML
机构
:
来源
:
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY
|
1984年
/ 131卷
/ 10期
关键词
:
D O I
:
10.1149/1.2115259
中图分类号
:
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
:
081704 ;
摘要
:
引用
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页码:2366 / 2368
页数:3
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[11]
LEED AND AES STUDY OF PH3 ADSORPTION ON CLEAN SI(111)
VANBOMME.AJ
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机构:
PHILIPS RES LABS,EINDHOVEN,NETHERLANDS
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VANBOMME.AJ
CROMBEEN, JE
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机构:
PHILIPS RES LABS,EINDHOVEN,NETHERLANDS
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CROMBEEN, JE
[J].
SURFACE SCIENCE,
1973,
36
(02)
: 773
-
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[12]
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VANBOMMEL, AJ
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1967,
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VANBOMME.AJ
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PHILIPS RES LABS,EINDHOVEN,NETHERLANDS
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VANBOMME.AJ
CROMBEEN, JE
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[J].
SURFACE SCIENCE,
1973,
36
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: 773
-
777
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A LOW ENERGY ELECTRON DIFFRACTION STUDY OF PH3 ADSORPTION ON SI (111) SURFACE
VANBOMMEL, AJ
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MEYER, F
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MEYER, F
[J].
SURFACE SCIENCE,
1967,
8
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