FRICTION-REDUCING COATINGS BY DUAL FAST ATOM BEAM TECHNIQUE

被引:25
作者
KUWANO, H
NAGAI, K
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A | 1986年 / 4卷 / 06期
关键词
D O I
10.1116/1.573613
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
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页码:2993 / 2996
页数:4
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