EFFECTS OF PREADSORBED OXYGEN CONTAMINANT ON ADSORPTION OF AL ON SI (111)

被引:3
作者
BELLINA, JJ [1 ]
机构
[1] MCDONNELL DOUGLAS CORP,RES LABS,ST LOUIS,MO 63166
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1974年 / 11卷 / 06期
关键词
D O I
10.1116/1.1318696
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:1133 / 1140
页数:8
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