RATIOED SCATTER DIAGRAMS - AN EROTETIC METHOD FOR PHASE IDENTIFICATION ON COMPLEX-SURFACES USING SCANNING AUGER MICROSCOPY

被引：11

作者：

BROWNING, R

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1984年 / 2卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.572382

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：1453 / 1456

页数：4

共 6 条

[1] BROWNING R, 1981, I PHYS CON SER, V61, P143
[2] BROWNING R, 1983, I PHYS C SER, V68, P127
[3] DUDEK HJ, UNPUB SURF INTERFACE
[4] REFRACTORY SILICIDES FOR INTEGRATED-CIRCUITS
MURARKA, SP
[J]. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1980, 17 (04): : 775 - 792
[5] SOFTWARE FOR SCANNING AUGER MICROSCOPY
PRUTTON, M
PEACOCK, DC
[J]. JOURNAL OF MICROSCOPY-OXFORD, 1982, 127 (JUL): : 105 - 118
[6] AUGER-ELECTRON SPECTROSCOPY APPLICATIONS OF A NEW INTEGRAL FIELD-EMISSION GUN WITH A SMALL SPOT SIZE
TODD, G
POPPA, H
VENEKLASEN, LH
[J]. THIN SOLID FILMS, 1979, 57 (02) : 213 - 219