MOLYBDENUM NITRIDE FILM FORMATION

被引:19
作者
KIM, MJ
BROWN, DM
KATZ, W
机构
关键词
D O I
10.1149/1.2119916
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
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页码:1196 / 1200
页数:5
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