PROPERTIES OF ZNO FILMS DEPOSITED ONTO INP BY SPRAY PYROLYSIS

被引:60
作者
EBERSPACHER, C
FAHRENBRUCH, AL
BUBE, RH
机构
[1] STANFORD UNIV,DEPT APPL PHYS,STANFORD,CA 94305
[2] STANFORD UNIV,DEPT MAT SCI & ENGN,STANFORD,CA 94305
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(86)90102-1
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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