PROPERTIES OF ZNO FILMS DEPOSITED ONTO INP BY SPRAY PYROLYSIS

被引：60

作者：

EBERSPACHER, C

FAHRENBRUCH, AL

BUBE, RH

机构：

[1] STANFORD UNIV,DEPT APPL PHYS,STANFORD,CA 94305

[2] STANFORD UNIV,DEPT MAT SCI & ENGN,STANFORD,CA 94305

来源：

THIN SOLID FILMS | 1986年 / 136卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(86)90102-1

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

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共 31 条

[31] TRANSPARENT AND HIGHLY CONDUCTIVE FILMS OF ZNO PREPARED BY RF REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING [J].

WEBB, JB ;

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APPLIED PHYSICS LETTERS, 1981, 39 (08) :640-642

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