DRY CLEANING OF CONTACT HOLES USING ULTRAVIOLET (UV) GENERATED OZONE

被引：6

作者：

NORSTROM, H

OSTLING, M

BUCHTA, R

PETERSSON, CS

机构：

[1] Inst of Microwave Technology, Stockholm, Swed, Inst of Microwave Technology, Stockholm, Swed

来源：

关键词：

DRY CLEANING OF CONTACT HOLES - ULTRAVIOLET (UV) GENERATED OZONE;

D O I：

10.1149/1.2114337

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

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页数：3