INITIAL-STAGES OF GROWTH DURING BORON-CARBIDE CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION

被引：13

作者：

JANSSON, U ^{[1
]}

CARLSSON, JO ^{[1
]}

STRIDH, B ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV UPPSALA,DEPT TECHNOL,S-75121 UPPSALA,SWEDEN

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1987年 / 5卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1116/1.574315

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：2823 / 2828

页数：6

共 7 条

BOMAN, M ;

CARLSSON, JO .

SURFACE TECHNOLOGY, 1985, 24 (02) :173-190

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CARLSSON JO, 1985, 8TH P INT C VACUUM M, P287

JANSSON, U ;

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