CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION ON INERT AND REACTIVE SUBSTRATES - ASPECTS OF ADHESION, DEPOSITION RATE AND GRAIN-SIZE

被引：7

作者：

BOMAN, M

CARLSSON, JO

机构：

来源：

SURFACE TECHNOLOGY | 1985年 / 24卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1016/0376-4583(85)90134-7

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：173 / 190

页数：18

共 16 条

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