THERMAL-STABILITY AND BARRIER HEIGHT ENHANCEMENT FOR REFRACTORY-METAL NITRIDE CONTACTS ON GAAS

被引：31

作者：

ZHANG, LC

CHEUNG, SK

LIANG, CL

CHEUNG, NW

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.98169

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：445 / 447

页数：3

共 4 条

SCHWARTZ, GP ;

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JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS, 1984, 23 (12) :L895-L898