CHEMICAL ETCHING OF (001) INP BY HBR-H2O2-H2O-HCL SOLUTION

被引:7
作者
HUO, DTC
YAN, MF
WYNN, JD
WILT, DP
机构
[1] AT&T Bell Lab, United States
关键词
8;
D O I
10.1149/1.2096407
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
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页码:3094 / 3097
页数:4
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