HIGH-SPATIAL RESOLUTION AUGER-SPECTROSCOPY AND AUGER INTEGRATION APPLICATIONS

被引:17
作者
POCKER, DJ [1 ]
HAAS, TW [1 ]
机构
[1] AEROSP RES LABS,WRIGHT PATTERSON AFB,OH 45433
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1975年 / 12卷 / 01期
关键词
D O I
10.1116/1.568794
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:370 / 374
页数:5
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