DIELECTRIC-PROPERTIES OF ION PLATED TITANIUM-OXIDE THIN-FILMS

被引：12

作者：

BABUJI, B

BALASUBRAMANIAN, C

RADHAKRISHNAN, M

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-3093(83)90045-5

中图分类号：

TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：405 / 412

页数：8

共 16 条

JANKOWSKI, B .

[12] ELECTRICAL PROPERTIES OF RUTILE (TIO2) THIN FILM [J].

KATSUTA, Y ;

AKAHANE, R ;

YAHAGI, K .

[13]

PRIEST J, 1961, J APPL PHYS, V12, P581

SHIOJIRI, M .

[15]

SIDDAL G, 1966, VACUUM, V9, P274

[16] DIELECTRIC PROPERTIES OF SPUTTERED TIO2 FILMS [J].

TAKEUCHI, M ;

ITOH, T ;

NAGASAKA, H .